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| 致力于高科技产业的顶尖贵重仪器中心、产业研发平台与质量保证、全国各地分部的失效分析实验室，全年无休、免费收送件服务、专案整案、从无损到有损的高时效的权威分析与咨询。 | ||||
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● 国内外先进精密仪器设备，致力于半导体领域、电子领域、机械领域、智能化领域、化工领域、材料领域的技术检测分析 ● 失效分析实验室技术团队成员拥有集成电路晶圆制造，集成电路封装，凸块制造，CP测试产业领域丰富经验 ● 失效分析实验室坚持以客户为中心，公正、准确、及时、周到的服务理念以及健全的管理体系为客户提供满意的服务 |
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非破坏性分析 ● SAT ● 2D X-Ray ● 3D X-Ray：ZEISS Xradia 620 Versa 1.实现大工作距离下大尺寸样品的高分辨成像，最高分辨率可达0.5um 2.电压范围：30KV-160KV，最大输出功率：25W 3.样品台承载负荷 4.样品台行程：50mm*100mm*50mm |
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样品制备 ● Polish：进行定点/非定点研磨，结合Ion Milling的使用给出更清晰的截图效果。 ● Decap：金线，铜线，镀钯铜线，银线，各种封装，包括超小封装。 ● Delayer：RIE通过采用O2、CF4、CHF3、SF6等等离子气体可以去除Oxide、Nitride、Polyimide、Si等材质，结合物理研磨对高阶芯片及BSI样品进行去层。 |
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SEM扫描电子显微镜/Dual Beam FIB双束聚焦离子束 季丰目前三大SEM供应商，包含：冷场SEM、热场SEM。最高分辨率可达0.1nm，满足高分辨的观察；配备ESD，能够对样品进行表面成份分析。冷场配备YAG系统，可提供更清晰的图片。同时配备多台DB FIB进行纳米级样品制备，冷、热场相结合，实现为客户收集更全面数据的效果。 |
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FIB CKT 线路修补 FIB 线路修补设备 Thermo Scientific™ CENTRIOS 高级电路修补设备支持10纳米及以上制程的芯片设计。它支持先进的正面和背面修改，具有专业的修改控制和精确度。 |
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NP6800 Prober IV 系统 ● Nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案，非常适合SEM和各种电镜样品微操作使用； ● NP6800可快速增加或移除纳米探针模块，调整定位和方向，也可以现场远程控制，使用非常方便； ● 搭配冷场高分辨电镜-SEM匹配使用，即使在加速电压低于0.5kV也能充分施展高分辨性能。 |
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● 100eV的探测电压，系统有效避免电荷积累，增加SEM解析度 ● DI-EBAC精准定位闸极氧化层崩溃点，进一步执行截面TEM ● EBAC以发现低至~100Ω的3D互连结构中的关键故障 ● 750ps pulsed IV量测，侦测闸极高阻之现象 ● IV测量性能：0.1fA/0.5μV测量分辨率 ● EBIRCH低阻抗短路，可侦测10W阻抗 ● IV量测 |
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