失效分析

  致力于高科技产业的顶尖贵重仪器中心、产业研发平台与质量保证、全国各地分部的失效分析实验室,全年无休、免费收送件服务、专案整案、从无损到有损的高时效的权威分析与咨询。
● 国内外先进精密仪器设备,致力于半导体领域、电子领域、机械领域、智能化领域、化工领域、材料领域的技术检测分析
● 失效分析实验室技术团队成员拥有集成电路晶圆制造,集成电路封装,凸块制造,CP测试产业领域丰富经验
● 失效分析实验室坚持以客户为中心,公正、准确、及时、周到的服务理念以及健全的管理体系为客户提供满意的服务
非破坏性分析
● SAT
● 2D X-Ray
● 3D X-Ray:ZEISS Xradia 620 Versa
 1.实现大工作距离下大尺寸样品的高分辨成像,最高分辨率可达0.5um
 2.电压范围:30KV-160KV,最大输出功率:25W
 3.样品台承载负荷
 4.样品台行程:50mm*100mm*50mm
样品制备
● Polish:进行定点/非定点研磨,结合Ion Milling的使用给出更清晰的截图效果。
● Decap:金线,铜线,镀钯铜线,银线,各种封装,包括超小封装。
● Delayer:RIE通过采用O2、CF4、CHF3、SF6等等离子气体可以去除Oxide、Nitride、Polyimide、Si等材质,结合物理研磨对高阶芯片及BSI样品进行去层。
SEM扫描电子显微镜/Dual Beam FIB双束聚焦离子束
季丰目前三大SEM供应商,包含:冷场SEM、热场SEM。最高分辨率可达0.1nm,满足高分辨的观察;配备ESD,能够对样品进行表面成份分析。冷场配备YAG系统,可提供更清晰的图片。同时配备多台DB FIB进行纳米级样品制备,冷、热场相结合,实现为客户收集更全面数据的效果。
FIB CKT 线路修补
FIB 线路修补设备 Thermo Scientific™ CENTRIOS
高级电路修补设备支持10纳米及以上制程的芯片设计。它支持先进的正面和背面修改,具有专业的修改控制和精确度。
NP6800 Prober IV 系统
● Nanoprober为显微镜或电镜下微纳操作提供纳米级微操纵方案,非常适合SEM和各种电镜样品微操作使用;
● NP6800可快速增加或移除纳米探针模块,调整定位和方向,也可以现场远程控制,使用非常方便;
● 搭配冷场高分辨电镜-SEM匹配使用,即使在加速电压低于0.5kV也能充分施展高分辨性能。
● 100eV的探测电压,系统有效避免电荷积累,增加SEM解析度
● DI-EBAC精准定位闸极氧化层崩溃点,进一步执行截面TEM
● EBAC以发现低至~100Ω的3D互连结构中的关键故障
● 750ps pulsed IV量测,侦测闸极高阻之现象
● IV测量性能:0.1fA/0.5μV测量分辨率
● EBIRCH低阻抗短路,可侦测10W阻抗
● IV量测